Comparison of pulsed laser deposition CNx films grown from organic and inorganic targets

  1. González, P.
  2. Soto, R.
  3. León, B.
  4. Pérez-Amor, M.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology, Part A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Año de publicación: 2001

Volumen: 19

Número: 2

Páginas: 499-502

Tipo: Artículo

DOI: 10.1116/1.1344908 GOOGLE SCHOLAR
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