Laser crystallisation of poly-SiGe for microbolometers

  1. Chiussi, S.
  2. Serra, C.
  3. Serra, J.
  4. González, P.
  5. León, B.
  6. Urban, S.
  7. Andrä, G.
  8. Bergmann, J.
  9. Falk, F.
  10. Fabbri, F.
  11. Fornarini, L.
  12. Martelli, S.
  13. Rinaldi, F.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Any de publicació: 2002

Volum: 186

Número: 1-4

Pàgines: 166-172

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1016/S0169-4332(01)00614-6 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus