Laser crystallisation of poly-SiGe for microbolometers

  1. Chiussi, S.
  2. Serra, C.
  3. Serra, J.
  4. González, P.
  5. León, B.
  6. Urban, S.
  7. Andrä, G.
  8. Bergmann, J.
  9. Falk, F.
  10. Fabbri, F.
  11. Fornarini, L.
  12. Martelli, S.
  13. Rinaldi, F.
Aldizkaria:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Argitalpen urtea: 2002

Alea: 186

Zenbakia: 1-4

Orrialdeak: 166-172

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1016/S0169-4332(01)00614-6 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus