Laser crystallisation of poly-SiGe for microbolometers

  1. Chiussi, S.
  2. Serra, C.
  3. Serra, J.
  4. González, P.
  5. León, B.
  6. Urban, S.
  7. Andrä, G.
  8. Bergmann, J.
  9. Falk, F.
  10. Fabbri, F.
  11. Fornarini, L.
  12. Martelli, S.
  13. Rinaldi, F.
Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 186

Nummer: 1-4

Seiten: 166-172

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/S0169-4332(01)00614-6 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus