Laser crystallisation of poly-SiGe for microbolometers

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Revue:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Année de publication: 2002

Volumen: 186

Número: 1-4

Pages: 166-172

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1016/S0169-4332(01)00614-6 GOOGLE SCHOLAR
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