ArF-excimer laser induced chemical vapour deposition of amorphous hydrogenated SiGeC films

  1. López, E.
  2. Chiussi, S.
  3. Serra, C.
  4. Serra, J.
  5. González, P.
  6. León, B.
  7. Pérez-Amor, M.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Any de publicació: 2003

Volum: 208-209

Número: 1

Pàgines: 682-687

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1016/S0169-4332(02)01426-5 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus