ArF-excimer laser induced chemical vapour deposition of amorphous hydrogenated SiGeC films

  1. López, E.
  2. Chiussi, S.
  3. Serra, C.
  4. Serra, J.
  5. González, P.
  6. León, B.
  7. Pérez-Amor, M.
Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2003

Ausgabe: 208-209

Nummer: 1

Seiten: 682-687

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/S0169-4332(02)01426-5 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus