ArF-excimer laser induced chemical vapour deposition of amorphous hydrogenated SiGeC films

  1. López, E.
  2. Chiussi, S.
  3. Serra, C.
  4. Serra, J.
  5. González, P.
  6. León, B.
  7. Pérez-Amor, M.
Aldizkaria:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Argitalpen urtea: 2003

Alea: 208-209

Zenbakia: 1

Orrialdeak: 682-687

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1016/S0169-4332(02)01426-5 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus