ArF-excimer laser induced chemical vapour deposition of amorphous hydrogenated SiGeC films

  1. López, E.
  2. Chiussi, S.
  3. Serra, C.
  4. Serra, J.
  5. González, P.
  6. León, B.
  7. Pérez-Amor, M.
Revue:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Année de publication: 2003

Volumen: 208-209

Número: 1

Pages: 682-687

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1016/S0169-4332(02)01426-5 GOOGLE SCHOLAR
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