Laser assisted integrated processing of SiGeC films on silicon

  1. López, E.
  2. Chiussi, S.
  3. Serra, J.
  4. González, P.
  5. Serra, C.
  6. León, B.
  7. Fabbri, F.
  8. Fornarini, L.
  9. Martelli, S.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Any de publicació: 2004

Volum: 453-454

Pàgines: 46-51

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1016/J.TSF.2003.11.179 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus