Laser assisted integrated processing of SiGeC films on silicon

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Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 2004

Volumen: 453-454

Páginas: 46-51

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/J.TSF.2003.11.179 GOOGLE SCHOLAR
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