Laser assisted integrated processing of SiGeC films on silicon

  1. López, E.
  2. Chiussi, S.
  3. Serra, J.
  4. González, P.
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  6. León, B.
  7. Fabbri, F.
  8. Fornarini, L.
  9. Martelli, S.
Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 2004

Ausgabe: 453-454

Seiten: 46-51

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.TSF.2003.11.179 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus