Laser assisted integrated processing of SiGeC films on silicon

  1. López, E.
  2. Chiussi, S.
  3. Serra, J.
  4. González, P.
  5. Serra, C.
  6. León, B.
  7. Fabbri, F.
  8. Fornarini, L.
  9. Martelli, S.
Aldizkaria:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Argitalpen urtea: 2004

Alea: 453-454

Orrialdeak: 46-51

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1016/J.TSF.2003.11.179 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus