FEM numerical analysis of excimer laser induced modification in alternating multi-layers of amorphous and nano-crystalline silicon films

  1. Conde, J.C.
  2. Martín, E.
  3. Stefanov, S.
  4. Alpuim, P.
  5. Chiussi, S.
Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 258

Nummer: 23

Seiten: 9342-9346

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2012.01.050 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus