FEM numerical analysis of excimer laser induced modification in alternating multi-layers of amorphous and nano-crystalline silicon films

  1. Conde, J.C.
  2. Martín, E.
  3. Stefanov, S.
  4. Alpuim, P.
  5. Chiussi, S.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Año de publicación: 2012

Volumen: 258

Número: 23

Páginas: 9342-9346

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2012.01.050 GOOGLE SCHOLAR

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