FEM numerical analysis of excimer laser induced modification in alternating multi-layers of amorphous and nano-crystalline silicon films

  1. Conde, J.C.
  2. Martín, E.
  3. Stefanov, S.
  4. Alpuim, P.
  5. Chiussi, S.
Aldizkaria:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Argitalpen urtea: 2012

Alea: 258

Zenbakia: 23

Orrialdeak: 9342-9346

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2012.01.050 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus