Study on excimer laser irradiation for controlled dehydrogenation and crystallization of boron doped hydrogenated amorphous/nanocrystalline silicon multilayers

  1. Gontad, F.
  2. Conde, J.C.
  3. Filonovich, S.
  4. Cerqueira, M.F.
  5. Alpuim, P.
  6. Chiussi, S.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Ano de publicación: 2013

Volume: 536

Páxinas: 147-151

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/J.TSF.2013.04.005 GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

Fonte de datos: Scopus