Geometrical factors affecting the CO2 laser chemical vapour deposition of silicon oxide films in parallel configuration

  1. Fernández, D.
  2. González, P.
  3. Pou, J.
  4. García, E.
  5. León, B.
  6. Pérez-Amor, M.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Any de publicació: 1992

Volum: 220

Número: 1-2

Pàgines: 100-105

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0040-6090(92)90555-P GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus