Geometrical factors affecting the CO2 laser chemical vapour deposition of silicon oxide films in parallel configuration

  1. Fernández, D.
  2. González, P.
  3. Pou, J.
  4. García, E.
  5. León, B.
  6. Pérez-Amor, M.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 1992

Volumen: 220

Número: 1-2

Páginas: 100-105

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0040-6090(92)90555-P GOOGLE SCHOLAR
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