Geometrical factors affecting the CO2 laser chemical vapour deposition of silicon oxide films in parallel configuration

  1. Fernández, D.
  2. González, P.
  3. Pou, J.
  4. García, E.
  5. León, B.
  6. Pérez-Amor, M.
Aldizkaria:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Argitalpen urtea: 1992

Alea: 220

Zenbakia: 1-2

Orrialdeak: 100-105

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0040-6090(92)90555-P GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus