Geometrical factors affecting the CO2 laser chemical vapour deposition of silicon oxide films in parallel configuration

  1. Fernández, D.
  2. González, P.
  3. Pou, J.
  4. García, E.
  5. León, B.
  6. Pérez-Amor, M.
Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 1992

Ausgabe: 220

Nummer: 1-2

Seiten: 100-105

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0040-6090(92)90555-P GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus