Modification of silicon nitride films to oxynitrides by ArF excimer laser irradiation

  1. Serra, J.
  2. Parada, E.G.
  3. González, P.
  4. Fernández, D.
  5. Chiussi, S.
  6. Pou, J.
  7. León, B.
  8. Pérez-Amor, M.
Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Ano de publicación: 1996

Volume: 80

Número: 1-2

Páxinas: 211-215

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/0257-8972(95)02714-9 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus