ArF excimer laser epitaxy of Si x Ge 1-x alloys studied by XRD and XPS

  1. Larciprete, R.
  2. Willmott, P.
  3. Martelli, S.
  4. Cesile, M.C.
  5. Borsella, E.
  6. Chiussi, S.
  7. González, P.
  8. León, B.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Any de publicació: 1996

Volum: 106

Pàgines: 179-185

Tipus: Article

DOI: 10.1016/S0169-4332(96)00430-8 GOOGLE SCHOLAR