Comparison of modifications induced by ArF excimer laser irradiation on silicon nitride films deposited by different LCVD methods

  1. Banerji, N.
  2. Serra, J.
  3. Serra, C.
  4. Chiussi, S.
  5. Lusquiños, F.
  6. Redondas, X.
  7. León, B.
  8. Pérez-Amor, M.
Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Any de publicació: 1998

Volum: 100-101

Número: 1-3

Pàgines: 393-397

Tipus: Article

DOI: 10.1016/S0257-8972(97)00655-5 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus