Comparison of modifications induced by ArF excimer laser irradiation on silicon nitride films deposited by different LCVD methods

  1. Banerji, N.
  2. Serra, J.
  3. Serra, C.
  4. Chiussi, S.
  5. Lusquiños, F.
  6. Redondas, X.
  7. León, B.
  8. Pérez-Amor, M.
Zeitschrift:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Datum der Publikation: 1998

Ausgabe: 100-101

Nummer: 1-3

Seiten: 393-397

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0257-8972(97)00655-5 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus