Comparison of modifications induced by ArF excimer laser irradiation on silicon nitride films deposited by different LCVD methods

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  8. Pérez-Amor, M.
Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Año de publicación: 1998

Volumen: 100-101

Número: 1-3

Páginas: 393-397

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0257-8972(97)00655-5 GOOGLE SCHOLAR

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