Comparison of pulsed laser deposition CNx films grown from organic and inorganic targets
- González, P.
- Soto, R.
- León, B.
- Pérez-Amor, M.
ISSN: 0734-2101
Ano de publicación: 2001
Volume: 19
Número: 2
Páxinas: 499-502
Tipo: Artigo
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology, Part A: Vacuum, Surfaces and Films