Laser crystallisation of poly-SiGe for microbolometers

  1. Chiussi, S.
  2. Serra, C.
  3. Serra, J.
  4. González, P.
  5. León, B.
  6. Urban, S.
  7. Andrä, G.
  8. Bergmann, J.
  9. Falk, F.
  10. Fabbri, F.
  11. Fornarini, L.
  12. Martelli, S.
  13. Rinaldi, F.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Ano de publicación: 2002

Volume: 186

Número: 1-4

Páxinas: 166-172

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1016/S0169-4332(01)00614-6 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus