ArF-excimer laser induced chemical vapour deposition of amorphous hydrogenated SiGeC films

  1. López, E.
  2. Chiussi, S.
  3. Serra, C.
  4. Serra, J.
  5. González, P.
  6. León, B.
  7. Pérez-Amor, M.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Ano de publicación: 2003

Volume: 208-209

Número: 1

Páxinas: 682-687

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1016/S0169-4332(02)01426-5 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus