Growth and modification of thin SiGeC films at low substrate temperatures through UV laser assisted processing

  1. López, E.
  2. Chiussi, S.
  3. Serra, J.
  4. González, P.
  5. Serra, C.
  6. Kosch, U.
  7. León, B.
  8. Fabbri, F.
  9. Fornarini, L.
  10. Martelli, S.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Any de publicació: 2004

Volum: 234

Número: 1-4

Pàgines: 422-428

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2004.05.053 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus