Growth and modification of thin SiGeC films at low substrate temperatures through UV laser assisted processing

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Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2004

Ausgabe: 234

Nummer: 1-4

Seiten: 422-428

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2004.05.053 GOOGLE SCHOLAR
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