Growth and modification of thin SiGeC films at low substrate temperatures through UV laser assisted processing

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Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Año de publicación: 2004

Volumen: 234

Número: 1-4

Páginas: 422-428

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2004.05.053 GOOGLE SCHOLAR

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