Growth and modification of thin SiGeC films at low substrate temperatures through UV laser assisted processing

  1. López, E.
  2. Chiussi, S.
  3. Serra, J.
  4. González, P.
  5. Serra, C.
  6. Kosch, U.
  7. León, B.
  8. Fabbri, F.
  9. Fornarini, L.
  10. Martelli, S.
Aldizkaria:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Argitalpen urtea: 2004

Alea: 234

Zenbakia: 1-4

Orrialdeak: 422-428

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2004.05.053 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus