Laser assisted integrated processing of SiGeC films on silicon

  1. López, E.
  2. Chiussi, S.
  3. Serra, J.
  4. González, P.
  5. Serra, C.
  6. León, B.
  7. Fabbri, F.
  8. Fornarini, L.
  9. Martelli, S.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Ano de publicación: 2004

Volume: 453-454

Páxinas: 46-51

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1016/J.TSF.2003.11.179 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus