Effects of deposition temperature on properties of r.f. glow discharge amorphous silicon thin films

  1. Bertran, E.
  2. Andújar, J.L.
  3. Canillas, A.
  4. Roch, C.
  5. Serra, J.
  6. Sardin, G.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Any de publicació: 1991

Volum: 205

Número: 2

Pàgines: 140-145

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0040-6090(91)90295-9 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus