Effects of deposition temperature on properties of r.f. glow discharge amorphous silicon thin films

  1. Bertran, E.
  2. Andújar, J.L.
  3. Canillas, A.
  4. Roch, C.
  5. Serra, J.
  6. Sardin, G.
Aldizkaria:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Argitalpen urtea: 1991

Alea: 205

Zenbakia: 2

Orrialdeak: 140-145

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0040-6090(91)90295-9 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus