Effects of deposition temperature on properties of r.f. glow discharge amorphous silicon thin films

  1. Bertran, E.
  2. Andújar, J.L.
  3. Canillas, A.
  4. Roch, C.
  5. Serra, J.
  6. Sardin, G.
Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 1991

Ausgabe: 205

Nummer: 2

Seiten: 140-145

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0040-6090(91)90295-9 GOOGLE SCHOLAR
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