Comparison of modifications induced by ArF excimer laser irradiation on silicon nitride films deposited by different LCVD methods

  1. Banerji, N.
  2. Serra, J.
  3. Serra, C.
  4. Chiussi, S.
  5. Lusquiños, F.
  6. Redondas, X.
  7. León, B.
  8. Pérez-Amor, M.
Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Ano de publicación: 1998

Volume: 100-101

Número: 1-3

Páxinas: 393-397

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/S0257-8972(97)00655-5 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus