Growth and modification of thin SiGeC films at low substrate temperatures through UV laser assisted processing

  1. López, E.
  2. Chiussi, S.
  3. Serra, J.
  4. González, P.
  5. Serra, C.
  6. Kosch, U.
  7. León, B.
  8. Fabbri, F.
  9. Fornarini, L.
  10. Martelli, S.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Ano de publicación: 2004

Volume: 234

Número: 1-4

Páxinas: 422-428

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2004.05.053 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus