Effects of deposition temperature on properties of r.f. glow discharge amorphous silicon thin films

  1. Bertran, E.
  2. Andújar, J.L.
  3. Canillas, A.
  4. Roch, C.
  5. Serra, J.
  6. Sardin, G.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Ano de publicación: 1991

Volume: 205

Número: 2

Páxinas: 140-145

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/0040-6090(91)90295-9 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus